北京哪里可以刻蚀硅?
题主的问题其实涉及两个部分:
1、哪儿可以买到刻蚀药水(工具);
2、怎么进行刻蚀。 (- - - // - - -) (一)购买刻蚀药水的途径有两种,一种是从生产商直接购买,缺点是价格较高且数量有限。另一种是通过代理商购买,缺点是难以找到合适的代理商和确保供货的稳定性。 比较幸运的就是我现在就职的研究所正好负责某型号刻蚀试剂的研发工作,因此不仅可以提供大量试剂还可以直接买到最新的试剂配方,真可谓是一举两得~
(二)刻蚀方法大致可分为干法刻蚀和湿法刻蚀两大类。 常见的干法刻蚀技术有等离子体刻蚀、脉冲激光刻蚀、深紫外线刻蚀、原子层沉积(ALD)及化学气相沉积(CVD)等。 而湿法刻蚀是指用液体作为反应介质来腐蚀材料的技术。目前常用的湿法刻蚀技术有硫酸铵溶液浸泡法、酸蚀法和光化学刻蚀等。
不过,不管是哪种刻蚀方式都需要根据材料的特性来选择合适的方式和方法。若操作不当很可能造成不可挽回的损失。 例如对于介质膜(如TFT制造过程中的ITO膜)的刻蚀通常采用等离子激元光子术(IPLG),此工艺属于干法刻蚀中的光化学刻蚀范畴,通过在玻璃基板上键合低折射率的材料制成光学波导结构,利用光纤连接器耦合进光纤端口来实现器件的高密度集成。又例如对于单晶体的刻蚀一般采用电子束或光子束来轰击晶体,通过产生空穴从而破坏晶体表面的分子而实现对单晶的刻蚀。 对于多晶薄膜的刻蚀而言,则可以使用等离子激元光子学、电子束、光化学、纳米浆料喷涂等方法。